Новосибирские химики нашли способ превращать отходы кремниевого производства в сверхчистый силан для микроэлектроники

Прочитано: 35 раз(а)


В Институте неорганической химии СО РАН 16 июня 2026 года объявили о создании экономически эффективной технологии переработки техногенных отходов кремниевого завода в Иркутской области в моносилан — газ, являющийся ключевым прекурсором для производства сверхчистого поликремния, необходимого для микрочипов и солнечных батарей. До сих пор основным методом получения силана оставался энергоёмкий синтез из металлургического кремния и соляной кислоты, тогда как отходы в виде хлорсиланов часто утилизировались или продавались за бесценок на экспорт.

Новая технология использует каталитическое диспропорционирование хлорсиланов в присутствии алюмокалиевого катализатора при относительно низкой температуре — около 300 градусов Цельсия. В реакционной колонне непрерывного действия побочные продукты одного цикла превращаются в исходное сырьё для следующего, что делает процесс практически безотходным. Полученный силан имеет чистоту 99,99999 процента, что подтверждено независимым анализом в лаборатории компании «Микрон». Проект получил грант Российского научного фонда, а его авторы ведут переговоры с крупнейшими производителями кремния о внедрении технологии на своих предприятиях.

Предприятия микроэлектроники в ОЭЗ Москвы открыли свыше 100 вакансий



Новости партнеров